紫外光電子譜的基本原理是光電效應(yīng)，它被廣泛地用來(lái)研究氣體樣品的價(jià)電子和精細(xì)結(jié)構(gòu)以及固體樣品表面的原子、電子結(jié)構(gòu)。

入射電磁波從物質(zhì)中擊出的光電子產(chǎn)生的譜稱為能譜。光電子能譜學(xué)（PES） 是二十世紀(jì)六十年代隨著超高真空技術(shù)和電子學(xué)技術(shù)的發(fā)展而迅速發(fā)展起來(lái)的一支譜學(xué)新技術(shù)。它是對(duì)從樣品中擊出的光電子進(jìn)行能量分析，給出豐富的信息。PES能夠探測(cè)固體材料的表面區(qū)域，廣泛用于研究材料表面結(jié)構(gòu)和吸附現(xiàn)象，這對(duì)材料性能[1]  的研究尤為重要。在縱剖面的分析中, PES更有其它方法難以替代的獨(dú)特功能, 使材料分析領(lǐng)域發(fā)生了重大變革。紫外光電子能譜(UPS)的入射輻射屬于真空紫外能量范圍，擊出的是原子或分子的價(jià)電子，可以在高分辨率水平上探測(cè)價(jià)電子的能量分布, 進(jìn)行電子結(jié)構(gòu)的研究。 對(duì)于氣態(tài)樣品, 能夠測(cè)定從分子中各個(gè)被占分子軌道上激發(fā)電子所需要的能量，提供分子軌道能級(jí)高低的直接圖象，為分子軌道理論提供堅(jiān)實(shí)的實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。

紫外光電子譜的基本原理是光電效應(yīng)（如圖1）。它是利用能量在16-41eV的真空紫外光子照射被測(cè)樣品，測(cè)量由此引起的光電子能量分布的一種譜學(xué)方法。

忽略分子、離子的平動(dòng)與轉(zhuǎn)動(dòng)能，紫外光激發(fā)的光電子能量滿足如下公式：

hν=Eb+Ek+Er，

其中Eb電子結(jié)合能，Ek電子動(dòng)能，Er原子的反沖能量。